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半導(dǎo)體行業(yè)超純水水質(zhì)標(biāo)準

半導(dǎo)體行業(yè)超純水水質(zhì)標(biāo)準

半導(dǎo)體工業(yè)需要大量的超純水,隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,對超純水水質(zhì)的要求日趨嚴格。當(dāng)前半導(dǎo)體工業(yè)的超純水的水質(zhì)指標(biāo)要求,甚至嚴格于我國國標(biāo)電子水的最高標(biāo)準要求,如微粒子,TOC,電阻率,溶解氧等。因此,相比于其他行業(yè)的超純水,需要更加嚴格的深度處理技術(shù),如深度處理顆粒物,有機物,深度脫鹽,深度脫氣技術(shù)等等。其部分參考標(biāo)準如下:

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ASTM-D5127-2007《美國電子學(xué)和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水標(biāo)準》

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中國國家電子級超純水規(guī)格GB/T11446-1997

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