半導體零部件(1)-真空泵

真空技術是建立低于大氣壓力的物理環境，以及在此環境中進行工藝制作、物理測量和科學試驗等所需的技術。真空技術主要包括真空獲得、真空測量、真空檢漏和真空應用四個方面。真空獲得設備，即獲得、改善和（或）維持真空環境的裝置，主要指真空泵，是真空技術中最關鍵的設備種類。

真空相關知識：

真空是指在指定空間內低于環境大氣壓力的氣體狀態，也就是該空間內氣體分子數密度低于該地區大氣壓的氣體分子數密度。完全沒有氣體的空間狀態稱為絕對真空，實際上是不存在的。在真空技術中，常用真空度來衡量真空狀態下空間氣體的稀薄程度，通常真空度用氣體的壓力值來表示。壓力值越高，真空度越低；壓力值越低，真空度越高。

常用的壓力單位為Pa，1Pa壓力是在1平方米的面積上作用1N的力；此外還有標準大氣壓1atm、托Torr、巴Bar等壓力單位。一般認為在標準情況下760mm高的汞柱產生的壓力為1atm，即1atm=760mmHg=101325Pa；1Torr=1/760 atm；1Pa=10ubar（微巴）=10^-2 mbar （毫巴）。

通常可以把真空度劃分為以下區段：低真空，10^5 Pa-10^2 Pa；中真空，10^2 Pa-10^-1 Pa；高真空，10^-1 Pa-10^-5 Pa；超高真空，＜10^-5 Pa。

表1：真空度劃分范圍及應用領域

真空泵分類及作用機理：

按照工作原理的不同，真空泵分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩大類。

氣體傳輸泵可以被進一步分為變容真空泵和動量真空泵兩類。變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣的裝置，氣體在排出前被壓縮。可分為往復式和旋轉式兩種。動量真空泵是通過高速旋轉的葉片或射流，把動量傳輸給氣體或者氣體分子，使氣體連續不斷的從入口傳輸到出口的真空泵。

氣體捕集泵是使氣體分子被吸附或冷凝而保留在泵內表面上的一種真空泵，主要包括吸附泵、吸氣劑泵、升華（蒸發）泵、吸氣劑離子泵、低溫泵等類型。

表2：氣體傳輸泵的分類及應用

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