什么是光刻機?光刻機有什么作用
光刻技術與我們的生活息息相關,我們用的手機,電腦等各種各樣的電子產品,里面的芯片制作離不開光刻技術。如今的世界是一個信息社會,各種各樣的信息流在世界流動。而光刻機是保證制造承載信息的載體。在社會上擁有不可替代的作用。
光刻機的作用:
光刻是集成電路最重要的加工工藝。光刻技術跟照相技術差不多,照相是將鏡頭里的圖畫“印”到底片上,而光刻是將電路圖和電子元件“刻”到“底片”上。在光刻工藝中,通常以涂滿光敏膠的硅片作為“底片”,電路圖案經光刻機,縮微投射到“底片”上。制造芯片,要重復幾十遍這個過程。這就是光刻機的作用,類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件。
光刻機的技術原理:
光刻機就是把芯片制作所需要的線路與功能區做出來。利用光刻機發出的光,通過具有圖形的光罩,對涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發生性質變化,從而使光罩上得圖形復印到薄片上,薄片上電子線路圖隨之顯現。光刻機技術是一種精密的微細加工技術。常規光刻技術是采用波長為2000~4500埃的紫外光作為圖像信息載體,以光致抗光刻技術蝕劑為中間(圖像記錄)媒介實現圖形的變換、轉移和處理,然后把圖像信息傳遞到晶片(主要指硅片)或介質層上的一種工藝。
在芯片加工過程中,光刻是其中一個重要的步驟,甚至被認為是集成電路制造中最為關鍵的步驟,決定著制造工藝的先進程度,因此電子行業生產離不開光刻機。
光刻技術的精細度,直接決定了元器件、電路等在芯片上所占的體積。因而,光刻是決定芯片能否按照摩爾定律繼續發展的一項重要技術,如果沒有光刻技術的進步,芯片制造工藝就不可能從微米進入深亞微米再進入納米時代。
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